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Summit450/600/800 参数介绍： |
XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
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英制单位 |
公制单位 |
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测量范围(Summit 450) |
18" X18"X6" |
450x450x150mm |
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测量范围(Summit 600) |
18" X24"X6" |
450x600x150mm |
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测量范围(Summit 800) |
30" X31"X6" |
760x800x150mm |
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尺寸(Summit 450/600) |
40" X65X76" |
1016X1650x1930mm |
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尺寸(Summit 800) |
56" X74.2X76" |
1422X1884X1930mm |
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负载能力 |
50kg |
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分辨率 |
0.1um (可选 0.04umX-Y) |
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光学 |
双重放大 (物镜X) |
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低 |
0.8 |
1.0 |
2.5 |
5.0 |
10.0 |
25.0 |
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高 |
3.2 |
4.0 |
10.0 |
20.0 |
40.0 |
100.0 |
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标准物镜 |
2.5X |
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可选物镜 |
0.8X,1.0X,5X,10X |
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照明 |
LED 背光,LED 同轴面光 |
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可选特征 |
多色可编程环形光源 |
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Ronchi 栅格自动聚焦 |
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TTL激光 |
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光谱探针 |
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旋转工作台 |
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兆像素数码相机 |
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高速测量和连续图像获取 |
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特征：
- 测量范围：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm
- 50公斤承载力
- 亚微米的光栅尺分辨率
- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒
- 误差映射：在XY平面非线性二维纠错
- 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍
- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明
- 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项
- TTL激光选项，具有自动聚焦和扫描功能
- 三角和共焦激光位移传感器选项
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项
- 先进的图像处理性能，快速、精确、稳健
- 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例
- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
- 独立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg
- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备
- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择
- 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时
Summit的应用范围包括：
半导体/电子
PCB板与Stencil
光罩
引线框，引线接合，柔性线路板，连接器
SMT元件贴装
锡膏/环氧数脂胶点
芯片载体和托盒
喷墨打印机墨盒
数据存储
磁盘介质基板
滑块和悬臂组(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件
模具和刀具
医疗设备
燃料喷射部件
手表组件