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特征：
X,Y,Z 行程 (毫米)：250 x 150 x 50
X,Y,Z 光栅尺分辨率：XY - 0.05 μm, 零膨胀材料，Z - 0.01μm, 零膨胀材料
平台驱动系统：无摩擦高速线性马达驱动 X&Y, 直流伺服马达驱动 Z
z大速度：X,Y - 100 mm/sec / Z - 25 mm/sec
z大承载量：25 kg
光学系统 ：单倍放大, 工厂安装背光的镜头和视场交换式前透镜标配为VIEW 1X 背管，5X镜头
计量软件
可选项: Elements
可选项Measure-X
可选项软件模块:
区域多点自动聚焦
连续捕获图像 (CIC)
先进的图像滤光和图像拼接，自定义
UI操作软件
MeasureFit Plus
SmartProfile
3D GD&T 评估软件
VMS 离线编程软件
数字输入/输出Digital I/O